[20a-B202-1~10] CS.11 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシートのコードシェアセッション

10:00 〜 10:15

[20a-B202-5] リモートプラズマによるSi上HfNナノ粒子形成とプラズモン特性

〇北嶋 武¹、中野 俊樹¹ (1.防大電気)

キーワード：

プラズマ,プラズモン,HfN

HfNナノ粒子は可視領域でプラズモン共鳴する非貴金属であることから局所熱発生や光化学応用向け素材として注目されている。SiO₂Si(100)試料に電子ビーム蒸着でHfナノ粒子を形成し、N₂誘導結合リモートプラズマからの窒素ラジカル照射により粒径20~50nm程度のHfNナノ粒子を形成した。UV-可視の光吸収スペクトルではプラズモン共鳴に対応する550nmでのピークは明確ではないが、280nm近辺のインターバンド遷移の吸収ピークが確認できた。