[20a-B205-1~9] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

9:15 〜 9:30

[20a-B205-2] フェムト秒レーザーを用いた銅の線状転写加工条件の検討

〇吉田 智彦¹、奈良崎 愛子²、渡邉 歴¹ (1.立命館大理工、2.産総研)

キーワード：

レーザー,LIFT

近年，デバイスの小型化などによって，金属の微細構造が電子回路などにおいて求められている．金属の微細構造の形成手法として，レーザー誘起前方転写(LIFT)法があげられる．しかし，LIFT法による金属の微細構造の形状が平滑でないといった課題がある．本研究ではフェムト秒レーザーを光源とし，LIFT法による平滑な形状をもつ銅の線状構造をガラス基板上に形成することを目的に，加工可能なパラメーターを調査する．