講演情報
[20a-B205-8]フェムト秒レーザ照射したダイヤモンド表面へのP+およびN+イオン注入
〇(M2)岩浅 郁哉1、植木 智之1、富田 卓朗1、岡田 達也1 (1.徳島大理工)
キーワード：
フェムト秒レーザ,ダイヤモンド,イオン注入
フェムト秒レーザ照射により改質を導入したダイヤモンド単結晶(001)表面にイオン注入を行い，レーザ照射改質がイオン取り込みに与える影響を調べた．イオン種としてはリン（P+）および窒素（N+）を選択し，イオン注入は600℃で行った．結晶深さ方向のイオン濃度分布測定には二次イオン質量分析法を用いた．P+およびN+両方について，レーザ照射領域におけるイオン濃度は，レーザを照射していない領域に比べて高くなった．透過電子顕微鏡法により，イオン注入領域を観察したところ，大規模なアモルファス化は起こっておらず，結晶性が保たれていることを確認した．