講演情報
[20a-P01-4]Si基板上単結晶ダイヤモンドの結晶性におけるマイクロ波出力依存性
〇(M1C)玉腰 佳子1、塚本 貴広1、一色 秀夫1 (1.電気通信大学)
キーワード：
ダイヤモンド
ダイヤモンドは物性の優れた魅力的な材料であり、高い絶縁破壊電界強度により、高温高圧化で高周波動作可能となる。デバイス実現にあたり結晶性改善は必要不可欠である。これまで、Si基板上への単結晶ダイヤモンド形成においてダイヤモンドの結晶性の評価に取り組み、成長速度が重要な要因であることを明らかにした。本研究では、さらなる高品質な単結晶ダイヤモンドの作製を目指し、マイクロ波出力が結晶性に及ぼす効果を調べた。