セッション詳細

[20a-P01-1~14]6.2 カーボン系薄膜

2023年9月20日(水) 9:30 〜 11:30
P01 (熊本城ホール)

[20a-P01-1]Boron-doped diamond MOSFETs

〇Jiangwei LIU1, Tokuyuki TERAJI1, Bo Da1, Yasuo Koide1 (1.NIMS)

[20a-P01-2]NVセンターとフリーラジカルのDEER計測

〇関口 顕1、津川 雅人1、臼井 俊太郎1、齋藤 大樹1、三宅 悠斗1、寺地 徳之2、小野田 忍3、田中 学4、品田 高宏5、川原田 洋1、谷井 孝至1 (1.早大理工、2.物材機構、3.量研、4.都立大UES、5.東北大CIES)

[20a-P01-3]Si上高配向ダイヤモンド薄膜の形態変調成長における特性評価

〇木川 啓太1、上原 陽空1、一色 秀夫1 (1.電通大基盤理工)

[20a-P01-4]Si基板上単結晶ダイヤモンドの結晶性におけるマイクロ波出力依存性

〇(M1C)玉腰 佳子1、塚本 貴広1、一色 秀夫1 (1.電気通信大学)

[20a-P01-5]液中原子分解能AFM計測に適した電子線堆積カーボン探針の作製

〇宮澤 佳甫1,2、奥西 昴1、中山 隆宏1,2、福間 剛士1,2 (1.金大院、2.WPI-NanoLSI)

[20a-P01-6]表面粗さの異なるSKD基材上のa-C:H膜のラマンマッピング評価

〇蓮池 紀幸1、阿部 涼介2、木下 創2、福村 秀夫2、木曽田 賢治3 (1.京都工芸繊維大学、2.住友重機械工業(株)、3.和歌山大学)

[20a-P01-7]アモルファス窒化炭素薄膜における膜厚方向の化学結合状態均一性が光誘起変形に及ぼす影響

〇青野 祐美1、島 宏美2、小松 啓志3、佐藤 庸平4、寺内 正己4 (1.鹿大院理工、2.防衛大、3.長岡技科大、4.東北大多元研)

[20a-P01-8]ネオジウム磁石を用いたマグネトロンスパッタリング源からのアモルファス炭素膜の作製

〇小松原 理央1、玉田 耕治2、平田 祐樹1、大竹 尚登1、赤坂 大樹1 (1.東京工業大学、2.東京工業高等専門学校)

[20a-P01-9]パルスレーザー照射によるアモルファス炭素膜の接合

〇長谷 嘉琉1、原田 大1、青野 祐子1、平田 祐樹1、大竹 尚登1、赤坂 大樹1 (1.東工大)

[20a-P01-10]DLC成膜中のプラズマ発光状態と細胞増殖性との関係

〇尾高 友輔1、當間 宗一朗1、中村 聡2、小松 隆2、平栗 健二1、大越 康晴1 (1.電機大、2.神奈川大)

[20a-P01-11]低周波プラズマを用いたDLC成膜におけるプラズマの発光色と細胞接着性の関連性

〇當間 宗一朗1、尾高 友輔1、中村 聡2、小松 隆2、鈴木 輝夫3、田村 豊3、小木曽 智3、杉村 智3、松浦 慶3、平栗 健二1、大越 康晴1 (1.電機大、2.神奈川大、3.春日電機)

[20a-P01-12]連続的な圧力負荷がおよぼす非晶質炭素薄膜の物性変化

〇(M1)中川 颯太1、杉原 輔扇1、小野澤 博文1、五十嵐 唯斗1、小畑 修二1、平栗 健二1、大越 康晴1 (1.電機大)

[20a-P01-13]DLCコーティングを施した巻線ヨークによる高効率モータ開発

〇(M2)桑山 創太1、桒原 大樹2、安中 茂2、林 俊郎3、平栗 健二1 (1.電機大工、2.仲代金属、3.エムスリー・コンサルティング)

[20a-P01-14]ダイヤモンド状炭素コートA6063パイプの圧力損失

〇玉井 大鷹1、平田 祐樹1、大竹 尚登1、赤坂 大樹1 (1.東工大)