[20a-P01-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[20a-P01-5] 液中原子分解能AFM計測に適した電子線堆積カーボン探針の作製

〇宮澤 佳甫^1,2、奥西 昴¹、中山 隆宏^1,2、福間 剛士^1,2 (1.金大院、2.WPI-NanoLSI)

キーワード：

原子間力顕微鏡,EBD探針,原子分解能