[20a-P02-1~25] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[20a-P02-10] エピタキシャル犠牲層を用いたGa₂O₃薄膜のケミカルリフトオフ

〇赤岩 和明¹、市野 邦夫¹ (1.鳥取大学)

キーワード：

酸化ガリウム,ケミカルリフトオフ