[20a-P02-1~25] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[20a-P02-11] RFスパッタ法により作製したアモルファスGa₂O₃薄膜の結晶化機構に関する研究

〇(M1C)中村 理紗¹、賈 軍軍²、福地 彩夏¹、馬込 栄輔³、西田 哲明⁴、岡 伸人¹ (1.近畿大学、2.早稲田大、3.九州シンクロトロン光研究センター、4.環境材料研)

キーワード：

RFスパッタリング,酸化ガリウム