[20a-P02-1~25] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[20a-P02-21] In-situ X線回折によるアモルファスWO₃薄膜の結晶化に関する研究

〇(M2)福地 彩夏¹、賈 軍軍²、中村 理紗¹、馬込 栄輔³、西田 哲明⁴、岡 伸人¹ (1.近畿大、2.早稲田大、3.九州シンクロトロン光研究センター、4.環境材料研究所)

キーワード：

結晶化,スパッタ