講演情報
[20a-P02-4]Pt/Ti0.99Sc0.01O2-δ(Rutile, Anatase)/Pt 多層膜の電気特性とパルス電圧印加による脳 型特性
〇前川 愛里1、冨吉 希彩良1、金子 理久1、谷古宇 海斗1、樋口 透1 (1.東理大先進工)
キーワード：
抵抗変化メモリー,酸化物半導体,電子-イオン混合伝導性
本研究では、Pt/Ti0.99Sc0.01O2-δ(Rutile, Anatase)/Pt 多層膜をスパッタ法により作製し、構造・電気特性に加え、パルス電圧印加による電流応答を評価することで、学習・忘却機能を有する脳型メモリー素子として特性評価を行った。