[20a-P02-1~25] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[20a-P02-6] MOD法による無アルカリガラス基板上へのVO₂膜の作製と特性評価

〇山田 知紀¹、田橋 正浩¹、高橋 誠¹、後藤 英雄¹ (1.中部大工)

キーワード：

二酸化バナジウム,有機金属分解法,無アルカリガラス