[20a-P02-1~25] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[20a-P02-9] 大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いた酸化チタンの成膜

〇西村 美優紀¹、太田 貴之¹ (1.名城大理工)

キーワード：

酸化チタン,スパッタリング,結晶構造