講演情報
[20a-P03-6]傾斜ターゲットを利用したPLD法による大面積YBCO超伝導エピタキシャル膜の作製
〇(M2)石塚 敬太1、田岡 紀之1、清家 善之1、森 竜雄1、一野 祐亮1 (1.愛知工大院)
キーワード：
YBCO,超伝導,薄膜
YBCO超伝導体は安価な液体窒素温度で超伝導転移するため様々な電力機器への応用が期待されている。しかし、大面積の作製が難しいという問題がある。PLD法による成膜の際に、蒸発種はターゲット表面法線方向に飛散し、ターゲット法線から離れるほどエピタキシャル薄膜の化学組成がターゲット組成からずれる問題がある。本研究ではターゲットの傾きに対するYBCO薄膜の組成分布や超伝導転移温度の分布などを検討した。