[20p-A202-1~11] 界面ナノ電子化学：深化する半導体ウェットプロセス

16:45 〜 17:00

[20p-A202-11] 界面ナノ電子化学研究会 吸着ワーキンググループ活動報告

〇吉水 康人¹ (1.キアクシア(株))

キーワード：

電気化学,洗浄,ウェット

界面ナノ電子化学研究会では固液気界面現象に関して特定のドメイン知識だけでは現象解明が難しい現象をテーマに取り上げ、産学の有識者が集まりその現象解明に取り組んでいる。参加者全員が主体となったワーキンググループ活動を定期的に開催。多様な知識と人材同士の活発な議論を通じて個々に新しい知が生まれ、技術と技術そして人と人が繋がる。当日は直近のワーキンググループでの話題やトピックスについて報告する。