講演情報
[20p-A202-5]エッチングの理論解析 -第一原理計算と機械学習ポテンシャル計算-
〇稲垣 耕司1、有馬 健太1 (1.阪大院工)
キーワード：
第一原理計算,エッチング機構,機械学習ポテンシャル
原子レベルでのエッチング機構を明らかにすることはより良いエッチング法を確立するために欠かせない。近年、機械学習により第一原理計算で得られる原子に働く力を学習させた機械学習ポテンシャルによる分子動力学計算の研究が進みつつある。本発表では、従来からの第一原理計算によるGaN表面でのエッチング反応素過程の解析の例と、機械学習ポテンシャルによるSi表面上のH表面拡散過程解析の試みを紹介する。