[20p-A309-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

13:00 〜 13:15

[20p-A309-1] 薄膜強誘電体の焦電効果の直接測定

〇宇佐美 潤¹、山田 浩之¹ (1.産総研)

キーワード：

強誘電,焦電

HfO₂はわずか1 nm厚でも強誘電特性を示し、注目を集める。しかし、wake-upやfatigueについて完全には理解されていない。その中でも残留分極の温度変化は焦電効果の一次寄与であるが、薄膜試料では基板の熱膨張などの影響が大きく、焦電係数と一致するとは限らない。温度のサイン変調を用いることで熱膨張などの影響から切り離す焦電効果の直接測定である、Sharp-Garn法を薄膜試料に適用した測定の準備を進めている。