講演情報

[20p-A309-16]Pb(Zr,Ti)O3超格子薄膜の積層膜厚の影響

〇原田 絃暉1、田中 清高1、權 相曉1、神野 伊策1 (1.神戸大工)

キーワード:

PZT,圧電,超格子