[20p-A310-1~12] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェアセッション

16:00 〜 16:15

[20p-A310-10] プラズマ照射したSi表面近傍の損傷の陽電子消滅法による評価

〇重定 瑠士¹、一宮 正義²、番 貴彦²、薮内 敦³、木野村 淳³、柳澤 淳一² (1.滋賀県立大院工、2.滋賀県立大工、3.京大複合研)

キーワード：

シリコン,イオン照射効果,陽電子消滅法