講演情報
[20p-A310-2]プロトン性イオン液体を用いたクラスター負イオンビーム生成とその照射効果
〇藤原 幸雄1 (1.産総研)
キーワード：
イオン液体,イオンビーム,二次イオン質量分析
液体金属イオン源の構造を参考とするイオン液体イオン源は、イオン液体で尖った針を濡らし、電界によって針の先端からイオン液体からなる正負両極性のイオンビームを生成できる。実験の結果、正負両極性において、安定なビーム生成を確認できた。負イオンビームを電気的に絶縁された金属板に照射して帯電電圧を測定したところ、高々+1V程度である事も確認できた。また負イオンビーム照射を用いたTOF-SIMS実験についても報告する。