講演情報
[20p-A310-4]Arおよび水クラスターイオンビーム照射によるベンジルピリジニウム分子の脱離イオン化過程
〇盛谷 浩右1、徳 泰成1、乾 徳夫1 (1.兵庫県大)
キーワード：
二次イオン質量分析,スパッタリング
Arおよび水クラスターのサイズ（構成分子数）を500から3000の間でランダムに変更しながら、Si基板上に堆積させたベンゼンピリジニウム膜のSIMS測定を行った．水クラスターではE/n = 2.4 eV付近でArクラスターに比べて分子イオン収率が上がることがわかった．講演では，フラグメントピークのデータも合わせ，水クラスターによるスパッタリングの動的過程について議論する．