[20p-A310-1~12] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェアセッション

15:30 〜 15:45

[20p-A310-8] 中性クラスタービーム照射による金属膜へのドライALE

〇田中 秀幸¹、竹内 雅耶¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県大工)

キーワード：

原子層エッチング,中性クラスタービーム