[20p-A310-1~12] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.4 イオンビーム一般のコードシェアセッション

15:45 〜 16:00

[20p-A310-9] GCIBを用いた電子透過窓極薄化による液中試料検出の高感度化

〇竹内 雅耶¹、鈴木 哲²、豊田 紀章¹ (1.兵庫県立大工、2.兵庫県立大高度研)

キーワード：

ガスクラスターイオンビーム,窒化シリコン,反応性エッチング

溶液セルを用いて真空中で液体を封止することで液体のXPSやSEMの分析が可能になるが、その溶液セルの最重要パーツは電子を透過させるための電子透過窓である。本講演では、低損傷加工可能なGCIBとアセチルアセトンガスを用いた反応性エッチングを用い、溶液セルの電子透過窓（SiNxメンブレン）を極薄化し、その耐圧性を評価する。またその極薄化された窓を溶液セルへ適応し、液体の高感度検出の原理実証を行う。