講演情報
[20p-B205-4]軸方向電場を増強したベクトルビームによるレーザー微細加工
〇(M2)津留 志音1、小澤 祐市1、上杉 祐貴1、佐藤 俊一1 (1.東北大多元研)
キーワード：
微細加工,軸方向電場,ベクトルビーム
径偏光ビームは、高い開口数のレンズで集光すると、軸方向電場が発生し、微小な集光スポットが形成されることが知られている。本特性をレーザー微細加工に利用することで、加工分解能の向上が期待できるが、異なる媒質間の境界条件を考慮する必要があり、軸方向電場の加工への寄与には不明な点が多い。今回は、振幅マスクを使用して軸方向電場を増強し、レーザー加工特性を詳しく調査した結果を報告する。