[20p-D901-1~9] 16.3 シリコン系太陽電池

14:00 〜 14:15

[20p-D901-3] 様々な条件で堆積したCat-CVD SiN_x及びSiO_xN_yの湿熱安定性

〇Huynh ThiCam Tu¹、大平 圭介¹ (1.北陸先端大)

キーワード：

Cat-CVD SiNx,保護層,高温高湿試験