[20p-P03-1~11] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

[20p-P03-10] SnO₂粒子の形状がもたらす表面反応とガスセンサ特性への影響

〇末松 昂一¹、Köninger Tobias²、島ノ江 憲剛¹、Weimar Udo²、Barsan Nicolae² (1.九大総理工、2.チュービンゲン大)

キーワード：

ガスセンサ,表面反応,露出結晶面

SnO₂を用いた半導体ガスセンサは、粒子表面における可燃性ガスの反応が素子の電気抵抗変化をもたらすことで可燃性ガスを検出できる。このような表面反応は粒子の形状により異なり、ガスセンサの応答特性に影響する。本研究では、露出結晶面の異なるSnO₂ナノ粒子及びナノロッドを合成、粒子表面におけるVOCガスの反応と電気的特性の相関を検証する。これにより、露出結晶面の違いを基に粒子形状が表面反応及びセンサ応答特性に及ぼす影響を解明する。