[20p-P05-1~9] 9.5 新機能材料・新物性

[20p-P05-9] Al基材表面に水熱処理で形成したZnAl₂O₄のセンサー応用

〇中根 茂行¹、名嘉 節¹、打越 哲郎¹、鈴木 達¹ (1.物材機構)

キーワード：

センサー,金属絶縁体接合,水熱合成

ZnAl₂O₄は、ユビキタス元素で構成される酸化物でありながら、蛍光体母相、触媒、半導体などの幅広い領域で有効な機能を発現する高機能セラミックス材料である。水を溶媒とする化学プロセスでアルミ表面をZnAl₂O₄にする簡便な技術が構築できれば、この物質の応用範囲は拡がるのだが、その課題は今まで達成できていなかった。これに対して我々は、金属アルミの表面を水熱処理してZnAl₂O₄化する手法を見出した。そして、作製したZnAl₂O₄/Alデバイスを環境センサーとして機能することの実証にも成功した。本発表では、それらの結果について報告する。