[20p-P07-1~49] 1 応用物理学一般（ポスター）

[20p-P07-14] 貴金属触媒を用いた湿式Siエッチングにおける界面活性剤の効果

〇(M1)土江 拓海¹、村上 勝悟¹、伊藤 健¹、新宮原 正三¹、清水 智弘¹ (1.関西大シス理)

キーワード：

ウェットエッチング,半導体