[21a-A302-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

11:45 〜 12:00奨励賞エントリー

[21a-A302-12] チタン酸化物の酸化数制御とペロブスカイト太陽電池特性

〇平井 力¹、岡田 健¹ (1.東北大院工)

キーワード：

スパッタ、ペロブスカイト太陽電池、チタン酸化物