セッション詳細

[21a-A302-1~12]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2023年9月21日(木) 9:00 〜 12:00
A302 (熊本城ホール)
小川 大輔(中部大)

[21a-A302-1]表面波プラズマにおける三次元再構成とその精度評価

〇新元 美晴1、三瓶 明希夫1、比村 治彦1、伊藤 洋一1、稲垣 秦一郎1 (1.京都工繊大)

[21a-A302-2]プラズマCVD装置におけるマイクロ波プラズマ着火過程の高速撮影

〇(M1)伊藤 洋一1、新元 美晴1、比村 治彦1、三瓶 明希夫1、河内 裕一1 (1.京都工繊大工)

[21a-A302-3]レーザー光脱離法を用いた負イオン量を最大にするオペレーションの実験的探索

〇(M1)堀江 凌矢1、鞆津 匠人1、西尾 昴1、丹波 天晴1、比村 治彦1、三瓶 明希夫1、河内 裕一1、神吉 隆司2 (1.京都工芸繊維大学、2.海上保安大学校)

[21a-A302-4]反応性負イオンビームの引き出し装置の開発及びフラックス計測

〇丹波 天晴1、鞆津 匠人1、西尾 昴1、堀江 凌矢1、比村 治彦1、三瓶 明希夫1、河内 裕一1、神吉 隆司2 (1.京都工繊大、2.海上保安大)

[21a-A302-5]3 MHzで駆動する容量結合Arプラズマの2次元PIC-MCCシミュレーション

〇伝宝 一樹1 (1.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ)

[21a-A302-6]熱電子供給型プラズマ支援成膜法による窒化ホウ素膜への金属元素導入制御

〇朝本 雄也1,5、野間 正男2、長谷川 繁彦3、山下 満4、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工、2.神港精機、3.阪大産研、4.兵庫県立工技センター、5.学振特別研究員DC)

[21a-A302-7]金属不純物を含む六方晶窒化ホウ素の第一原理計算による解析

〇服部 達哉1、朝本 雄也1、野間 正男2、長谷川 繁彦3、山下 満4、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工、2.神港精機、3.阪大産研、4.兵庫県立工技センター)

[21a-A302-8]カーボンハードマスクのプラズマエッチング耐性に対する,成膜過程におけるイオン照射効果

〇安藤 悠介1、近藤 博基2、堤 隆嘉2、石川 健治2、関根 誠2、堀 勝2 (1.名大工、2.名大低温プラズマ)

[21a-A302-9]任意波形放電を用いた水素化アモルファスカーボン膜の膜質制御

〇大高 真寛1、大友 洋1,2、池田 築1、頼 建勲1、脇田 大地1、鎌滝 晋礼1、山下 直人1、板垣 奈穂1、古閑 一憲1、白谷 正治1、進藤 崇央2、田中 諭志2、松土 龍夫2 (1.九州大学、2.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ)

[21a-A302-10]大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜における希ガスの効果

〇(M2)武田 恵太1、針谷 達2、小田 昭紀3、上坂 裕之4、太田 貴之1 (1.名城大理工、2.豊橋技科大、3.千葉工大、4.岐阜大工)

[21a-A302-11]ユニポーラダブルパルス大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜

〇(M2)國枝 滉1、針谷 達2、小田 昭紀3、上坂 裕之4、太田 貴之1 (1.名城大理工、2.豊橋技科大、3.千葉工大、4.岐阜大工)

[21a-A302-12]チタン酸化物の酸化数制御とペロブスカイト太陽電池特性

〇平井 力1、岡田 健1 (1.東北大院工)