講演情報
[21a-A305-10]誘電体薄膜モザイクRGBフィルタ搭載耐放射線カラーカメラの開発
〇竹原 浩成1、髙田 奎之心1、春田 牧人2,1、田代 洋行3,1、笹川 清隆1、池田 博一4、野口 一秀4、鈴木 雄斗5、藤田 喜則5、喜多村 康一5、太田 淳1 (1.奈良先端大、2.千歳科技大、3.九州大、4.マッハコーポレーション、5.太洋工作所)
キーワード：
イメージセンサ,耐放射線,誘電体多層膜フィルタ
モノクロ撮影が可能な高耐放射線イメージセンサのカラー化を行った。耐放射線ガラス基板上に誘電体薄膜の積層構造のモザイクパターンRGBフィルタを作製した。この際、各色に対応する分光透過率を得るために中間層と最上層の膜厚を調整した。作製したRGBフィルタは、画像信号強度変化を参照することで正確な位置合わせを行い、イメージセンサに張り合わせた。取得画像は、良好な色再現性を示した。