[21a-A305-1~10] 2.2 放射線物理一般・放射線応用・発生装置・新技術

11:30 〜 11:45

[21a-A305-10] 誘電体薄膜モザイクRGBフィルタ搭載耐放射線カラーカメラの開発

〇竹原 浩成¹、髙田 奎之心¹、春田 牧人^2,1、田代 洋行^3,1、笹川 清隆¹、池田 博一⁴、野口 一秀⁴、鈴木 雄斗⁵、藤田 喜則⁵、喜多村 康一⁵、太田 淳¹ (1.奈良先端大、2.千歳科技大、3.九州大、4.マッハコーポレーション、5.太洋工作所)

キーワード：

イメージセンサ,耐放射線,誘電体多層膜フィルタ

モノクロ撮影が可能な高耐放射線イメージセンサのカラー化を行った。耐放射線ガラス基板上に誘電体薄膜の積層構造のモザイクパターンRGBフィルタを作製した。この際、各色に対応する分光透過率を得るために中間層と最上層の膜厚を調整した。作製したRGBフィルタは、画像信号強度変化を参照することで正確な位置合わせを行い、イメージセンサに張り合わせた。取得画像は、良好な色再現性を示した。