講演情報
[21a-A308-9]高Ｑ値フォトニック結晶ナノ共振器の加工揺らぎ耐性の実験検討
〇倉持 栄一1,2、新家 昭彦1,2、納富 雅也1,2 (1.ＮＴＴ物性基礎研、2.ＮＴＴ ＮＰＣ)
キーワード：
フォトニック結晶,光共振器,光チップ
フォトニック結晶ナノ共振器において重要な課題である加工揺らぎによる性能低下について、電子線露光装置に依存しないレジスト転写プロセスによる揺らぎの制御によって実験検討を試みた。結果としてL3ナノ共振器において加工揺らぎによるQ値低下が深刻になる設計と軽微な設計があることを見出した。講演では加工揺らぎに耐性のあるナノ共振器設計指針についてシミュレーションと実験により議論を行う。