講演情報
[21a-B203-2]平面型熱電ハーベスタの出力密度解析
〇柳澤 亮人1、野村 政宏1 (1.東大生研)
キーワード：
熱電変換,平面型デバイス,エナジーハーベスト
熱電変換を用いたエナジーハーベスタの開発に向けて、シリコンウエハなどに作製される平面型デバイスについて出力密度の解析を行った。熱電材料の物性値とデバイスの薄膜寸法により、デバイス内部に生じる温度差や内部電気抵抗が決まり、出力密度が計算される。平面型デバイス特有の結果として、出力密度は薄膜厚さtと薄膜長さLの二乗の比、t/L2に依存し、薄膜の熱伝導率によって最適な比が決まることがわかった。実際のデバイスにおいては、素子間配線の面積などを考慮して、さらに最適化される。