[21a-B205-1~10] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

9:15 〜 9:30

[21a-B205-2] レーザー誘起気泡を用いた熱硬化性ポリマーの微細加工 (microFLIB)およびそのメカニズム解明

〇(M2)鳥羽 陽一¹、藤嶋 亮介¹、山田 壮平¹、花田 修賢¹ (1.弘前大理工)

キーワード：

レーザー誘起気泡,熱硬化性樹脂,マイクロ流体デバイス

我々の研究室では、レーザー誘起気泡を用いたPDMSの表面および内部への微細加工技術を開発し、microFLIB (microFabrication using Laser-Induced Bubble)と名付けた。本手法は、高速かつ高効率なPDMS微細加工を実現する。しかし、液状PDMSに溶け込んだ溶存気体量がmicroFLIBに及ぼす影響など、その詳細は分かっていない。よって、本報告では、液状PDMSの溶存気体量を変化させ、ポンププローブ法を用いたレーザー誘起気泡の挙動観察や本手法の加工メカニズムについて検討を行ったので報告する。