講演情報

[21a-B205-4]近赤外フェムト秒レーザパルス照射によるCu2O球状ナノ粒子の基板への接合条件探索

〇(B)水谷 桜輔1、Tran Duc Thuan1、Trung Vu Nguyen Kien1、溝尻 瑞枝1 (1.長岡技科大)

キーワード:

Cu2O球状ナノ粒子,フェムト秒レーザ直接描画,単層接合

本研究では,フェムト秒レーザパルス照射によるCu2O球状ナノ粒子のCu薄膜基板への接合現象の解明を目指し,パルス強度と接合状態を検討した.モード径110 nmの単分散ナノ粒子インクをCu薄膜基板上へ塗布し,描画時のパルスエネルギーと焦点位置を変更してラインを描画したところ,基板直上のナノ粒子が単層接合されるパルス強度の接合閾値は108.5 GW/cm2,143 GW/cm2以上では多層・溶融され,接合状態はパルス強度分布に大きく依存した.