[21a-C402-1~7] CS.9 6.2 カーボン系薄膜、KS.1 固体量子センサ研究会のコードシェアセッション

9:00 〜 9:15

[21a-C402-1] TBPによる(111)面リンドープn型ダイヤモンド膜のホール移動度

〇川島 宏幸¹、川瀬 凜久¹、加藤 宙光²、徳田 規夫³、山崎 聡³、小倉 政彦²、牧野 俊晴²、森岡 直也^1,4、水落 憲和^1,4 (1.京大化研、2.産総研、3.金沢大、4.京大CSRN)

キーワード：

ダイヤモンド半導体,リンドープ,移動度