講演情報
[21a-P04-11]オペランド 4 探針顕微ラマン分光システム”MORINGA”の開発
〇(M2)大石 健太1,2,3、後藤 陸1,3、小嗣 真人1、永村 直佳1,2,3 (1.東理大先進工、2.JST さきがけ、3.物材機構)
キーワード：
ラマン分光,オペランド計測,多探針プローブ
高空間分解能の共焦点ラマン顕微鏡装置に、ピエゾ精密駆動4探針プローバーを組み合わせることにより、原子層ナノシート材料や、それを用いた微細デバイス構造に、局所的に電場を印加しながら化学結合状態、キャリア密度、応力などの空間分布情報を得ることを目的とした、オペランド4探針顕微ラマン分光システム”MORINGA”(Multi-probe Operando Raman Imaging for Nano-scale Gate-tuning Analysis)の開発を行った。