[21a-P04-1~11] 6.5 表面物理・真空

[21a-P04-5] 非蒸発型ゲッタコーティングに用いるTi膜の構造制御

〇大庭 託優¹、中野 武雄¹、モハメッド　シュルズ ミヤ¹、玉川 冴¹、間瀬 一彦² (1.成蹊大理工、2.高エネ研)

キーワード：

薄膜,表面,NEGコーティング