[21p-B101-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

17:00 〜 17:15奨励賞エントリー

[21p-B101-13] グラフェンナノパターンマスクを用いたr面サファイア基板上でのa面GaNマイクロチャンネルエピタキシーの検討

〇横井 稜也¹、柳瀬 優太¹、長村 皓平¹、丸山 隆浩¹、成塚 重弥¹ (1.名城大理工)

キーワード：

窒化ガリウム,MBE,グラフェン