講演情報

[21p-B101-16]AlNテンプレート基板を用いたAlNリモートエピタキシー予備実験

〇(M2)長村 皓平1、横井 稜也1、丸山 隆浩1、成塚 重弥1 (1.名城大理工)

キーワード:

リモートエピタキシー,グラフェン,AlN