講演情報
[21p-B204-3]Au/YBCO積層試料への集束ヘリウムイオンビーム照射によるジョセフソン接合作製
〇三澤 哲郎1、井上 陸1,3、石田 茂之1、小川 真一1、森田 行則1、永﨑 洋1、内田 慎一1,2、西尾 太一郎3、浦野 千春1 (1.産総研、2.東大、3.東理大)
キーワード：
超伝導,ジョセフソン接合,ヘリウムイオン顕微鏡
ヘリウムイオン顕微鏡（HIM）技術を用いYBCO薄膜に集束ヘリウムイオンビーム（He-FIB）を照射することにより、ジョセフソン接合を作製することが可能である。今回、我々はアルゴンイオンミリング条件を制御することによりYBCO表面に金保護層を薄く残した上でHe-FIBを照射しジョセフソン接合を作製することを試みた。