講演情報
[21p-C301-13]NbN超伝導ペーストの作製と接続技術
〇高島 浩1、吉田 良行1、古瀬 充穂1 (1.産総研)
キーワード：
超伝導ペースト,超伝導接続
銀ペーストは有機/無機ハイブリッド化合物であり、熱硬化後は、優れた機械的柔軟性、電気的・機械的接続性、ハンドリング性を示す。我々は金属粒子として銀の代わりに超伝導材料を用いて、線材や薄膜の超伝導接合や、多層デバイスにおける超伝導インターコネクトの要素技術としての適用を目指している。本報告では、化学的に安定な超伝導体として知られるNbN超伝導粉末を用いたペースト試作を報告する。また、超伝導接続への応用を調べるため、NbTi薄膜パッド/NbNペースト/NbTi薄膜パッド接続を試作し、接続抵抗を測定したので報告する。