講演情報
[21p-D902-2]ひとつながりのITOからなる溶液ゲート薄膜トランジスタのバイオセンシング応用に向けた界面設計
〇(M2)片山 律1、齋藤 暁子1、坂田 利弥1 (1.東大院工)
キーワード：
酸化インジウムスズ (ITO),バイオセンサ,界面
ITOは導電性酸化物であるが、20nm程度の厚みでは半導体的性質を示す。そのため、100nmの導電性ITO薄膜の一部をエッチング処理し、20nm程度まで薄くすることにより良好な特性を示す微細な溶液ゲートITO-TFTの作製が可能である。本研究では、そのように作製したひとつながりのITOからなる溶液ゲートTFTのバイオセンシング応用に向けた界面の設計とバイオアフィニティパラメータの評価を実施した。