[21p-D903-1~16] 6.4 薄膜新材料

17:00 〜 17:15奨励賞エントリー

[21p-D903-11] 鉄酸ビスマス薄膜のトポケミカルフッ化反応における温度依存性

〇佐野 瑞歩¹、上垣外 明子¹、片山 司²、廣瀬 靖³、近松 彰¹ (1.お茶大理、2.北大電子研、3.都立大理)

キーワード：

鉄酸フッ化ビスマス,パルスレーザー堆積法,トポケミカル反応