講演情報
[21p-P01-5]ダブルプローブ測定を使用したバイアスメッシュ付近のプラズマパラメータの分析
〇松本 理奈1、ペナード キース1、カタパング アレン1、和田 元1 (1.同志社大理工)
キーワード:
大気圧プラズマ,ダブルプローブ
移動度分光器にワイヤーメッシュを追加すると非常に低い印加電界(~0~33。3V/cm)でも検出器で位相分解された信号が得られる。本研究ではバイアスされたメッシュの使用によって観測される局所的荷電粒子群パラメータにどのような影響を明らかにすることを目的とし,ダブルプローブによる計測を行った。