セッション詳細
[21p-P01-1]大気圧プラズマジェット由来短寿命活性酸素種の照射距離依存性
〇鳥居 岳大1、大槻 凌介1、松本 雄太1、栗田 弘史2、白藤 立1、呉 準席1 (1.大阪公大工、2.豊橋技科大工)
[21p-P01-5]ダブルプローブ測定を使用したバイアスメッシュ付近のプラズマパラメータの分析
〇松本 理奈1、ペナード キース1、カタパング アレン1、和田 元1 (1.同志社大理工)
[21p-P01-8]RF 低圧テトラエトキシシランプラズマにおける基板への入射ラジカル種および正イオン種の計測
〇奈良 歳三1、滝口 達也1、浅野 佑斗1、小田 昭紀1 (1.千葉工大)
[21p-P01-9]複数視野像を用いたプラズマ3次元構造評価の試み
〇原田 健汰1、久蔵 学1、鈴木 陽香1,2、豊田 浩孝1,2,3 (1.名大工、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)
[21p-P01-11]メチルアセチレンプラズマにおけるアモルファス炭素の成膜過程の赤外分光計測
〇桑田 篤哉1、大石 侑叶1、篠原 正典1、田中 諭志2、松本 貴士2 (1.福岡大工、2.東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ)
[21p-P01-12]ESR 法を用いたプラズマ由来の短寿命活性酸素種の影響範囲の特定
〇松本 雄太1、鳥居 岳大1、栗田 弘史2、白藤 立1、呉 準席1 (1.大阪公立大工、2.豊橋技科大)