講演情報
[21p-P04-2]混晶バルクSiGe結晶の機械的特性
〇荒井 康智1、内田 茂樹2、片野 佳文2、椿 浩二2、片岡 正巳3、佐々木 新悟3、佐藤 靖則3、松村 億久3、小八重 竹夫3、川崎 拓也3 (1.宇宙航空研究開発機構、2.トプコン、3.ティーディーワイ)
キーワード：
シリコンゲルマニウム,弾性率,音速
混晶SiGe合金系は、赤外材料、電子デバイス材料、熱電変換材料等の実用素材であると共に、理想的な混晶材料系として光・電子・機械物性が計測されてきた。本講演では、SiGe結晶の機械的性質として、音速計測による弾性率の導出を試みる。