講演情報

[21p-P06-12]光熱偏向分光法による窒化物系混晶半導体薄膜の光・熱物性評価に関する理論的検討

〇野村 麻友1、野田 幸樹1、今井 大地1、宮嶋 孝夫1 (1.名城大院理工)

キーワード:

AlInN,光熱偏向分光法,熱伝導率