2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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[21p-P06-12]
光熱偏向分光法による窒化物系混晶半導体薄膜の光・熱物性評価に関する理論的検討
〇野村 麻友
1
、野田 幸樹
1
、今井 大地
1
、宮嶋 孝夫
1
(1.名城大院理工)
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キーワード:
AlInN,光熱偏向分光法,熱伝導率
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