[21p-P09-1~30] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21p-P09-11] 逆Stranski-Krastanovモードを用いたサファイア基板上へのZnO単結晶膜成長：
MgOバッファー層の効果

〇湯上 貴文¹、矢高 功太郎¹、山下 尚人¹、山下 大輔¹、奥村 賢直¹、鎌滝 晋礼¹、木山 治樹¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹、板垣 奈穂¹ (1.九大シス情)

キーワード：

酸化亜鉛,スパッタリング成膜,エピタキシャル成長