[21p-P09-1~30] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21p-P09-20] 水熱合成ナノ粒子から作製したZnGa₂O₄薄膜における光電流の温度特性

〇石井 聡¹、加瀬 伶也¹、中根 茂行²、名嘉 節² (1.東京電機大、2.物材機構)

キーワード：

ZnGa2O4,光電流

スピネル型酸化物のZnGa₂O₄（以下，ZGO）は，4.8 eV以上のワイドバンドギャップを有することから，波長250~280 nmの深紫外線であるソーラーブラインド光を対象とした光デバイス材料への応用が期待されている．我々はこれまでにZGO薄膜の簡便かつ低コストな作製を目指して，水熱合成ZGOナノ粒子の薄膜化に取り組んできた．本研究ではZGO薄膜における光電流の温度特性を調査したので報告する．