[21p-P09-1~30] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[21p-P09-6] 逆 Stranski-Krastanov モードによる格子不整合基板上への原子平坦 (ZnO)_x(InN)_1-x 膜の成長

〇中野 祐太郎¹、成重 椋太¹、山下 尚人¹、鎌滝 晋礼¹、奥村 賢直¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹、木山 治樹¹、薮田 久人¹、板垣 奈穂¹ (1.九大シス情)

キーワード：

ZION,スパッタリング,逆SKモード